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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造
Laser Interferometers Verifire™ Series Large Aperture Systems Expanded Wavelength Capabilities Accessories Upgrades Typical Interferometer Setups

Verifire™ 系列 Verifire™ XPZ Verifire™ QPZ Verifire™ ATZ Verifire™ MST Verifire™ Asphere


DynaFiz® 動態測量

DynaFiz Interferometer System
關鍵特徵:

• 在空氣擾流和極端振動的環境下進行動態量測

• 最佳化的光學系統提供了清晰可見的中頻空間頻率特性 (mid-spatial frequency characteristics)

• LivePhase™ 軟體可以進行即時進行Zernike分析  [見影像]

• Movie模式獲取隨時間變化的波前

• 高功率,長壽命的穩頻氦氖雷射

新型的ZYGO DynaFiz® 鐳射干涉儀是特別設計為在有空氣擾流和極端振動的環境中進行精確的光學計量的最佳化光學儀器。DynaFiz® 光學系統的長壽命,高功率氦氖鐳射光源具有高的光效率,使得相機的高速快門能夠“凝固”振動。這種動態能力提供了在惡劣的環境中,傳統的時間相移技術不可能實現的可靠的量測。

DynaFiz® 干涉儀的低雜訊,高解析度相機和光學放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中頻空間頻率特性(mid-spatial frequency characteristics)。

DynaFiz® 干涉儀具有獨特的即時資料獲取能力也給光學系統檢測提供了便利。 LivePhase™ 獲取能力提供了即時Zernike回饋為光學系統的光路校正進行追蹤。這是一個以動畫的形式,把一系列動態圖像連接成影片提供光學系統隨時間變化的過程。採用具有獨特性能和無與倫比多功能的ZYGO DynaFiz® 干涉儀將使你的量測得到最大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。

點選LivePhase觀看即時光學系統校正過程的錄影


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