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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


大光圈鐳射干涉儀

ZYGO大光圈鐳射干涉儀系統是雙通道測量系統,小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度 測量模式,如相位調變、波長調變、動態測量等。大光圈鐳射干涉儀從常規的4英寸口徑拓展到12英 寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大光圈鐳射干涉儀包括

• 鐳射干涉儀主機(GPI™ XP/D, Verifire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調製主機)

• MUX分光器(光束轉換器

• 擴束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選

• 機械相位測量裝置用於12英寸和18英寸、24英寸及以上)

• 參考光束-透射平板和參考平板是光學系統必需的附件

• 調整架-用於調整參考光束和測試光束的位置

Large Aperture Interferometer System

大光圈鐳射干涉儀系統元件可以與干涉儀主機分開購買,如果您需要系統測量和配置方面的具體資訊請聯 繫我們。


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