Description
鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus  New! NewView™ 7100系列 NewView™ 7300系列 NewView™ 8000系列 Nexview™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


MetroPro®軟體介紹

ZYGO 光學測量系統最大的特點就是功能強大的 MetroPro 軟體。它使用相互關聯的視窗顯示,能同時 在螢幕上提供儀器控制,表面圖像,曲線,資料和統計結果。一彩色印表機可產生高品質的資料圖 像。資料可以存在磁片上,或傳輸至其它電腦做處理或統計分析。

MetroPro®軟體為您提供以下功能:

  1. 提供可旋轉的 3 維圖像,等高線圖,斜率,線狀曲線圖。這些圖像可以在顯示器上顯示,也 可以通過彩色或黑白印表機輸出或是直接輸出至檔案。
  2. 自動控制到達 CCD 的光強度,以保證有最好的 S/N 比。每次測量,光強度都會自動調節。
  3. 每次測量可以同時顯示在監視器上。
  4. MetroProT® 提供以下資料剪輯:矩形態)。並可得到相應游標移動距離。
  5. 輸出單位可以轉化為光學, 英制, 公制等單位。可以在一個輸出螢幕上混用單位。
  6. MetroPro® 有計算以下參數的功能:36 個 Zernike 參數,PV 值,標準差,Strehl 係數, variance(range),rms ...... 。
  7. Zernike 係數的編輯,它包括:輸入各項,產生,移動,儲存,倒算,旋轉,相加和相減。
  8. 提供衍射分析,解析度可高達 256x256。
  9. 可計算 PSF, MTF, 環繞能(Encircled energy), 結果可以在相同螢幕上同時觀察到。
  10. 可求參考基準,並能自動發現參考基準的標記中心。
  11. 除常規的光學平面和球面的測量外還可提供以下專業應用測試:
    • 3 平板測試
    • 2 球面測試
    • 工具偏差測試
    • 角度測試,它包括90度內角和外角的測試,透明或不透明材料楔角的測試。
    • 光學鏡頭和其它光學系統如格琳賽爾系統的調試檢測
    • 角錐誤差檢測
    • 直角棱鏡和 5 棱鏡角度檢測
    • 光學材料均勻度檢測

其它相關測量

除了上面的性能之外,軟體還包含以下性能,因而提高了整個系統的性能和能力:

• 軟體可以256種以上顏色、1024 x 1280 解析度顯示彩色圖像。

• 可存儲多重的系統組態,並可從磁片下載。

• 可在所有數值輸出設置高或低的容許公差,其結果在所給值以內由高亮度的綠色表示,超過此值用 紅色表示。

• 提供了靜態干涉條紋的測試,在使用時沒有必要退出相位測量程式或裝入其他程式。

• 提供可由操作者選擇截止頻率的資料高通,低通,帶通及凹槽FFT濾波。

• 提供從 3 x 3 到 49 x 49 可調節視窗,給出高通和低通資料平滑, 給出中值,平均值和 2s 的演算法 結果。

• 提供相位中斷 2p 的自動濾波。


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