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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


抗振型鐳射干涉儀 QPSI 快速機械相移模式可以在常見的振動環境下進行高精度計量

振動波紋效應干擾了真實的測試結果
振动波纹效应淹没真实的测试结果

同樣的測試條件下,通過 ZYGO 最 新的 QPSI 測量技術獲得的資料
同樣的測試條件下,通過 ZYGO 最 新的 QPSI 測量技術獲得的資料
关键特点:

• 消除振動引起的波紋和條紋

• 與經典的機械移相模式(PSI)具有同樣的測量精度

• 無需校準、無需改變設置

• 該功能可以通過滑鼠快速切換

當防震功能引入數位相機後,大大減少了由於抖動導致的失敗照片。新技術消除了大部分抖動影響,大 幅提高了照片成像品質。

在精密干涉儀的量測領域中,有非常類似的問題,環境振動毀了無數次的測量結果,如右圖所示。振動

明顯的影響測試結果和空間頻率分析,如果不能準確進行測試是很難做出高品質的光學元件的。製作隔 離罩使干涉儀與振動源隔離,或者購買動態干涉儀是目前現有的昂貴的解決方案。

對於許多光學設備來說,ZYGO 的 QPSI™技術是一個真正的突破。因為它消除了常見振動源的振動影 響,在您第一次按測量按鈕的時候即可獲得可靠的計量資料。QPSI 測量無需特殊設置和校準,測量時間 週期在一秒鐘或者兩次標準的 PSI 測量之間。

ZYGO 很高興為您提供基於標準的干涉儀系統所開發出的 QPSI 測量模式,Verifire™ QPZDynaFiz®系統。所有這些系統都是操作簡便的真正共光路的斐索型鐳射干涉儀,可以作為工業標準的可 靠量測-為大部分面形測量的首選解決方案。

QPSI 簡化生產計量

配備 QPSI 模式的 ZYGO 干涉儀具有可以在通常的振動源引起的振動環境下進行高精度測量的能力,例如 發動機,電機馬達,機械泵,鼓風機,人員走動等振動源。除非您的工廠完全沒有這些振動源的影響, 否則您都將可以受益於 QPSI 測試技術。 雖然 QPSI 可以完全解決許多常見的振動問題,仍然有些極端振動環境或者氣流擾動會要求使用另外一種 ZYGO 的 DynaFiz®的 DynaPhase®動態模式來解決。ZYGO 可以幫助您判斷適合您的最佳測試方案。請 聯繫我們獲得專家建議和產品演示。

獲得更多詳細的技術資料

您可以在這個公開的技術文章中閱讀所有關於 QPSI 測試技術的技術細節,附帶應用簡介,點擊此處可以 馬上下載

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