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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造

Verifire™ 系列 Verifire™ XPZ Verifire™ QPZ Verifire™ ATZ Verifire™ MST Verifire™ Asphere


Verifire™系列

ZYGO 新一代鐳射干涉儀系列--Verifire™鐳射干涉儀,繼承了工業標準之 GPI 鐳射干涉儀系列的所有優點,融合了機械相移技術、革命性的資料擷取技術、高性能的光電成像系統、振動補償軟體、非球面測量技術和波紋抑制 技術等,是集 ZYGO 領先技術的先進產品 ,近來Zygo更推出了可在劇烈震動環境下進行量測的DynaFiz瞬間干涉儀

所有 Verifire™ 系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列於下表:


型號: XPZ QPZ ATZ MST Asphere
核心技術: 相位移式干涉儀 (PSI) 傅立葉轉換相位移
式干涉儀
專利非球面演算
法相位移式干涉儀
光源: 點光源 點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制)
變焦: 自動 1-6X 數位控制 1-5X
聚焦: 自動 數控步進焦距控制
解析度: 640 × 480 圖元 1k × 1k 圖元
幀速: 75 Hz 100 Hz 43 Hz

Verifire™ XPZ™ - 是高精度高重複性的相位調變鐳射干涉儀,具有 640× 480 圖元解析度,與 ZYGO 功能強大的MetroPro® 軟體進行資料處理和分析。

Verifire™ QPZ - 是能夠在輕微振動的生產環境中進行高精度測量的鐳射干涉儀。PE 系統具有能夠迅速獲得資料的高速 CCD。

Verifire™ ATZ - 是 ZYGO 最高精度的機械移相式鐳射干涉儀。AT+系統具有 1000× 1000 圖元 CCD,以 ZYGO 專利技術的 Ring of Fire™對光源進行波紋抑制,數位控制的變焦和聚焦功能可以使因不同的使用者在操作時所造成的誤差降到最低。

Verifire™ MST - 利用波長調變鐳射和專利的資料擷取技術能夠同時測量透射元件的前後表面,可以不需要對樣品進行特殊處理同時進行多個面的量測。

Verifire™ Asphere - 快速、非接觸、高精度的非球面 3D 測量鐳射干涉儀,操作簡單,自動校準、擷取資料和分析。

Capability-Expanding Products

干涉儀附件 - 為了更進階的應用和增強干涉儀的功能,ZYGO 為用戶提供大量的干涉儀附件。

大光圈鐳射干涉儀 - ZYGO 大光圈鐳射干涉儀系統是雙通道測量系統,提供對大口徑的樣品通過干涉條紋分析的 方法測量,對小半徑的樣品採取相位調變的方式測量

波長拓展鐳射干涉儀 - ZYGO 有能力為多種多樣特定需求的干涉測量提供完整的解決方案,如特定波長、特定口徑、特定的圖像放大、特定的軟體分析 、特殊的增強性功能、特殊工裝以及特殊的自動控制等。


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