Description
鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus  New! NewView™ 7100系列 NewView™ 7300系列 NewView™ 8000系列 Nexview™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


3D 表面輪廓量測儀 選擇適合您的系統

所有的 3D 表面輪廓量測儀都可以為您提供高速、非接觸、三維定量的表面形貌測量。ZYGO 綜合測量套 裝軟體--MetroPro® 可以提供三維和兩維表面特性、即時顯示以及應用處理選項。MetroPro® 所提供的友 善人機交互介面包括自動控制、密碼保護、統計資料庫、可程式化設計、使用者自訂介面、自行設置合 格/不合格標準等。


ZeGage Optical Surface Profiler ZeGage Plus Optical Surface Profiler NewView 7100 Optical Surface Profiler NewView 7300 Optical Surface Profiler NewView 8000 Optical Surface Profiler Nexview Optical Surface Profiler
型號: ZeGage
表面轮廓仪
 
ZeGage Plus
表面轮廓仪
New!
NewView
7100

 
NewView
7300

 
NewView
8000

表面轮廓仪
Nexview
Profilometer

核心技術: CSI** CSI & PSI**
垂直掃描速率: ≤ 35 μm/s ≤ 73 μm/s ≤ 26 μm/s ≤ 135 μm/s ≤ 96 μm/s
最大臺階高度: ≤ 20 mm
系統變焦: 固定 自动
Z 軸調整: 自动
X/Y 方向調整: 手動或自動(選配) 自動
視場: ≤ 9 mm ≤ 14 mm* ≤ 16 mm
Software: Mx MetroPro Mx
* A larger field of view is possible with the megapixel camera and/or stitching option.
** CSI = 同調掃描式干涉儀
    PSI = Phase Shifting Interferometery

3D表面輪廓量測儀的主要應用

• 測量動態 MEMS 設備

• 薄膜分析應用

• 測量亞納米表面形貌

• 機械加工中的應用

• 半導體封裝的量測應用


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