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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


3D 表面輪廓量測儀 選擇適合您的系統

所有的 3D 表面輪廓量測儀都可以為您提供高速、非接觸、三維定量的表面形貌測量。ZYGO 綜合測量套 裝軟體--MetroPro® 可以提供三維和兩維表面特性、即時顯示以及應用處理選項。MetroPro® 所提供的友 善人機交互介面包括自動控制、密碼保護、統計資料庫、可程式化設計、使用者自訂介面、自行設置合 格/不合格標準等。


ZeGage Optical Surface Profiler ZeGage Plus Optical Surface Profiler NewView 8000 Optical Surface Profiler Nexview Optical Surface Profiler Nomad Portable Optical Surface Profiler
型號: ZeGage
表面轮廓仪
 
ZeGage Plus
表面轮廓仪
 
NewView 8000
表面轮廓仪
 
Nexview
表面轮廓仪
 
Nomad
Portable
表面轮廓仪
核心技術: CSI* CSI & PSI* CSI*
STR: 3.5 nm 0.15 nm 0.12 nm 0.08 nm 0.12 nm
垂直掃描速率: ≤ 35 μm/s ≤ 73 μm/s ≤ 96 μm/s ≤ 15 μm/s
最大臺階高度: ≤ 20 mm ≤ 95 µm
系統變焦: 固定 自动 固定
Z 軸調整: 自动 機動化
X/Y 方向調整: 手動或自動(選配) 自動 不適用
視場: ≤ 9 mm ≤ 16 mm ≤ 12 mm
Software: Mx
Notes:  STR (Surface Topography Repeatability) is a quantification of instrument capability, per ISO 25178-604.  STR can be improved by filtering and/or measurement averaging.
* CSI = 同調掃描式干涉儀
   PSI = 相移干涉技術

3D表面輪廓量測儀的主要應用

• 測量動態 MEMS 設備

• 薄膜分析應用

• 測量亞納米表面形貌

• 機械加工中的應用

• 半導體封裝的量測應用


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