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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


NewView™ 7300 白光干涉儀 3D 表面輪廓儀

Photo - NewView™ 7300 System
3D MetroPro® Plot NewView™ 7300 3D 表面輪廓儀(白光干涉儀)以其極高 的精密度和準確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙 度、臺階高度(step height)、關鍵部位的尺寸以及樣品的輪 廓。測量過程精密,高速,非接觸,且樣品無需特殊處 理。在高速掃描狀態下縱向測量範圍可以從小於 1nm 至 20000 µm,ZYGO 的專利技術,使得在任何的表面輪廓, 放大倍數以及臺階特性,NewView™ 7300 只需一次掃描 即可達到 0.1 nm 的縱向解析度,並獲得所有的被測參數。 除了基本的 3D 輪廓量測,NewView™ 7300 亦有強大的薄膜 量測功能(光學厚度 > 1000 Å) , 與微機電的動態量測模組可供選購。

憑藉 ZYGO 在光學設計和製造領域多年來積累的經驗,NewView™ 7300 具有超強的光學性能和極佳的 圖形品質。系統所具備的自動化放大功能給測試帶來靈活多變的性能,極大增強 3 維表面輪廓測量的品 質。ZYGO 公司所提供的從 1.0× 至 100× 的物鏡及超長工作距離的物鏡可以完成所有的測量工作。物鏡可 以很容易的安裝在一個 6 個位置的手動或者自動物鏡台臺,也可以直接安裝到儀器上單獨使用。 NewView™ 7300 側向解析度為次微米級,測量區域可達 100 mm × 100 mm,使用其特有的圖像拼接功 能,可檢測更大的範圍。

NewView™ 7300 高速、可靠和穩定之特性使其在滿足要求的環境下得到充分的發揮。ZYGO 產品經過 全面的品管以確保其作為測量儀器的標準性和權威性,並保證出廠產品的各元件功能品質。系統精度隨 時都可以用美國國家儀器標準測量局 NIST 提供的標準試片進行校正。用戶的應用進一步印證了 NewView™ 7300 產品的一流品質。

NewView™ 7300 配備了 ZYGO 公司自行開發的綜合測量套裝軟體-MetroPro®可以提供三維和二維的資 料分析、即時顯示以及應用處理 。MetroPro®所提供的直觀的操作介面包括自動控制、密碼保護、統計 資料庫、可程式設計、使用者自訂介面、自行設置合格/不合格標準等。通過選用高性能自動模組包括五 軸電動平臺,自動聚焦和自動物鏡台等可以提高測量過程的可靠度和滿意度,不僅讓 NewView™ 7300 輪廓儀更方便使用,同時也最大化提高其自動檢測能力。

如果您目前還不能確定所需要的配備,或者還不清楚未來所需,NewView™ 7300 為您提供全方位的選 擇和升級套件來滿足您測量和經費預算的需要,為您長期投入帶來保障並獲得回報。

NewView™ 7300 在半導體前段製造,LED 前後段製造,薄膜與矽太陽能電池製造,微機電,機密機 械,汽車工業,生醫科技,硬碟.......... 等產業都有非常成功的應用經驗。


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