Description
鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus  New! NewView™ 7100系列 NewView™ 7300系列 NewView™ 8000系列 Nexview™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


NewView™ 8000 Series 3D 光學表面輪廓儀

NewView™ 8000 光學表面輪廓儀
關鍵特點:

• 快速、非接觸式測量

• 出色的 3D 表面成像

• Sub-angstrom 等級的縱向解析度

• 尖端的精度和量測能力

• 兩種機型可供選擇:
單一目鏡機型和三組可切換目鏡機型

NewView™ 8000 系列的 3D 光學表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。 所有的測量都無損、快速,並且不需要樣品製備。強大的分析軟體可以極其精准的描繪和定量分析表面 粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸和其它形貌特徵。

對於各種表面結構,放大倍率及零件高度,可以實現小於 1 納米到 20000 微米範圍的快速測量。

使用 zygo 專利的同調掃描式干涉技術,NewView 8000 系列輪廓儀可以很容易的測量各種材質表面,包 括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

性能,價值和多功能性

NewView 8000 系列提供兩種配置。可更換目鏡的 NewView 8200,和帶 3 個目鏡切換器的 NewView 8300 系統。

無論您選擇哪個型號,所有的 NewView 8000 系統均能提供高精度測量,簡單的操作,和廣泛的應用,並且具有高性價比,使得它成為客戶最理想的選擇。

高級分析和控制軟體

Mx 軟體螢幕
Mx™軟體螢幕(點擊圖像來放大)

NewView8000 系列光學輪廓儀

NewView8000 系列光學輪廓儀
NewView 8000 系列輪廓儀使用全新的 Mx™軟體,完整強大的系統控制和資料分析,包括豐富的互動式 3D 圖,量化的形貌資訊,直觀的測量導航,和嵌入的資料統計、控制圖表和 Pass/Fail 控制的 SPC。

互動式的 3D 圖 – 變焦、全景、旋轉,以及即時的更新結果。

靈活的分析 – 包含大量的量化分析結果、資料視圖和濾波器。

直觀的使用者介面 – 流程化的設計使軟體簡單易學,操作簡便。

嵌入 SPC 分析 – 結果追蹤,Pass/Fail 監控,以及追蹤資料處理統計。

針對特殊測試的需求,軟體有專門的應用模組,比如透明薄膜的測量,以及 2D 視覺化分析等,對於有需 要的使用者,這些功能非常有幫助。

靈活的配置

開放的工作區域使視野更清晰操作更便捷
開放的工作區域使視野更清晰操作更便捷

NewView8000 系列輪廓儀具有清晰的視野,開放的工作區域,使得測量安裝和更換樣品變得簡單而快 速。該系統配備各種工作臺,從完全手動調節 X/Y 軸和傾斜的工作臺,到完全自動化的 150mm 行程、4 度傾斜的工作臺。還具有整合式的防震系統和不佔空間的外形;客戶可以選配特製的基座和工作桌來組 建一個理想的生產型的測量系統。


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