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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


Nexview™ 3D 光學表面輪廓儀

光學表面輪廓儀擅長測量各種表面的微觀形貌,從超光滑到非常粗糙的表 面,都能準確計量。無論視場範圍多大均可以達到 sub-nanometer 的測量精度。可以測量 平面度、粗糙度、大的臺階、薄膜和陡坡等。測試範圍從小於 1nm 到 20000μm。
Nexview™ Logo

SiC 鏡面:可以很清晰的看到結晶特徵和拋光痕跡

SiC 鏡面:可以很清晰的看到結晶特徵和拋光痕跡

Mx 軟體介面

Mx 軟體介面 (點擊圖像放大)

120 度的錐角

120 度的錐角

單點金剛石切削麵

單點金剛石切削麵

自動 200mm 整合式測量平台

自動 200mm 整合式測量平台

超強的測試範圍
可以測試所有類型的表面,從粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡、和大落差的臺階。

計量能力體現
優越的精度和重複性能夠滿足最嚴苛的測試需求

抗震技術
幾乎可以在任何環境下都能正常工作

ISO 25178 表面測量國際標準

全新版面的工作流程軟體
功能更強大,操作更簡便易學

流線型設計
無需手動操作,全自動化控制

需要的唯一的輪廓儀

你不再需要根據你要測量的表面類型來選擇一台輪廓儀。NexView 輪廓儀幾乎可以測量任何表面的形 貌,從 Sub-angstrom 的超光滑表面,到高達 85 度的大角度機械件,全部採用 3D、非接觸式測量,克服 了其它測量技術(探針式、共聚焦、聚焦掃描)的缺點,提供了最好的計量檢測方案

全新的分析和控制軟體

NexView 輪廓儀採用全新的 Mx™軟體強化了整個系統的控制和分析,包括豐富的互動式 3D 圖像,定 量的形貌資訊,直觀的測量導航,以及嵌入的包含資料統計、控制圖表和 Pass/Fail 限制的 SPC。

互動式 3D 圖 – 變倍,全景,旋轉,以及即時的更新結果。

靈活的分析工具 – 包含大量的定量結果、資料視圖、濾波。

高級的分析工具 – 提供了用於資料調查、操作和測量對比的自由設置區域。

直觀的使用者介面 – 流程化的設計使軟體簡單易學,便於操作。

浮動的工具條 – 可自由設定,滿足您的工作流程。

針對特殊測試的需求,軟體有專門的應用模組,比如透明薄膜的測量,以及 2D 視覺化分析等,對於有需 要的使用者,這些功能非常有幫助。

自動化操作

NexView 輪廓儀是無需手動操作的,全部自動電動控制,因此能夠利用軟體進行多次序列化的自動測 量,可以對裝配好的樣品進行程式化的自動測量,及對大樣品的快速拼接。

整潔,流線型,設計感

Nexview 系列輪廓儀具有清晰的視野,開放的工作區域,使得測量安裝和更換樣品變得簡單而快速。它的 全新、自動化,集成的 200mm 測量台是整潔、有效的工業設計的縮影。配備可正負 4 度傾斜的樣品台, 使測量時的調校變得簡單,即使是對於毫無特徵的表面也可以很容易快速的測量。


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