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FlashPhase™

FlashPhase Logo
FlashPhase FlashPhase™是ZYGO在MetroPro™軟體基礎上推出的一套新型的資料獲取方法,爲ZYGO所製造的干涉儀能在非理想環境下(如大口徑、長腔、加工現場)能提供相位測量。由於能夠代替使用傳統相移技術,所以FlashPhase能從單一鏡頭光度來決定相位;此方法不僅縮短資料獲取時間,而且有效消除環境噪音,資料獲取能夠讓像PTI 250RS和PTI 250系統安裝在生産上,同時提供全相位測量的能力。選擇FlasePhase可以免去昂貴的抗干擾硬體設備投入,使測量變得方便高效

測量不確定度λ/20
RMS重復性λ/2000
最小曝光時同GPI XP/XPHR  16.67ms
GPI HS 1ms@1XZoom
Verifire AT 1ms@1XZoom
用戶可選擇更短的曝光時間

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