GPI™系列
- 平面和球面的面形檢測
- 平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差
- 光學材料均勻性測量
- 角錐角度和麵形偏差測量
- 精密碟片質量檢驗
- 三平板絕對測量
- 雙球面絕對測量
- 靜態干涉條紋判斷
- 澤尼克多項式分析
- 球面曲率半徑測量
GPI™系列高精度鐳射干涉測量儀的主機爲Fizeau型干涉儀，具有光學器件少，精度高，易於使用等特點。光源爲低功率氨氖鐳射，光束擴展爲1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直徑，自干涉儀輸出。安裝在輸出孔之前的標準透射器件將部分鐳射反射回干涉儀，形成參考波面。餘下鐳射穿過透射器至樣品。根據光束在樣品表面直接反射或透射後再反射回主機，形成測量波面。根據參考波面和測量波面干涉産生的干涉條紋，可以測量樣品的表面面形和傳輸波面質量，樣品爲平面或球面。如果爲非平面和非球面，則需通過加裝補償片等手段進行測量。
GPI™系列干涉儀採用精密移相技術和高解析度CCD接收器件（最高可達 2048 X 2048），配合功能強大的MetroPro®軟體可以獲得高精確性和高質量的測量結果，其平面樣品 PV絕對精度優於λ/100 ！
GPI™－XP系統最大的特點就是其功能強大的MetroPro®軟體系統。使用互動的視窗顯示，在螢幕上同時提供儀器控制，表面面形類比，測量資料的統計分析等功能。測量資料可以存在磁片上，或傳輸至其他電腦作進一步處理或統計分析。也可以使用彩色印表機列印出MetroPro®高質量的資料圖像。
Mesa―平面度測量儀。 ZYGO公司專爲精密機械加工件和薄型光學元件的平面度測量而設計的一種幹步測量儀器，其測量物件是粗糙度爲2.5μm(Ra)和平面面形誤差150µm(Pa)以下的零件，測量樣品直徑可達Ф96mm。Mesa同樣採用功能強大的MetroPro®軟體，可在5秒鐘內完成測量和分析，並向用戶提供零件的三維面形圖和各類測量資料。
GPI™ 産品介紹 中文版 英文版
GPI™ LC 産品規格 中文版 英文版
GPI™ XP/D, GPI™ HS 産品規格 中文版 英文版