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光學精密測量

ZYGO爲用戶提供了大量的測量産品與服務,以全面滿足用戶在制程、研發和産品試製過程中的各種需求。

鐳射干涉儀

FlashPhase™ - ZYGO創新的在惡劣環境下的完成精密測量的快速干涉測量法。

GPI系列 - 系列中-大口徑干涉測量儀及系統。

PTI250系列 - 系列小口徑生産型干涉儀,可以提供3維面型圖和波形圖,可以對透鏡或透鏡系統進行半徑測量。

3維輪廓儀

NewView 6000系列 - 系列3維輪廓儀

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