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鐳射干涉儀
DynaFiz®
Verifire™系列
大光圈鐳射干涉儀
多種波長可供選擇
干涉儀附件
產品升級套件
典型干涉儀配置
MetroPro®軟體介紹
抗振型鐳射干涉儀
3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ 3D 表面輪廓儀主要應用
Optical Systems Division
VeriFire™ 系列 VeriFire™ XPZ VeriFire™ QPZ VeriFire™ ATZ VeriFire™ MST VeriFire™ Asphere
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DynaFiz™ 動態測量
關鍵特徵:
在空氣擾流和極端振動的環境下進行動態量測 最佳化的光學系統提供了清晰可見的中頻空間頻率特性 (mid-spatial frequency characteristics) LivePhase™ 軟體可以進行即時進行Zernike分析 [見影像] Movie模式獲取隨時間變化的波前 高功率,長壽命的穩頻氦氖雷射 DynaFiz™ 干涉儀的低雜訊,高解析度相機和光學放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中頻空間頻率特性(mid-spatial frequency characteristics)。 DynaFiz™ 干涉儀具有獨特的即時資料獲取能力也給光學系統檢測提供了便利。 LivePhase™ 獲取能力提供了即時Zernike回饋為光學系統的光路校正進行追蹤。這是一個以動畫的形式,把一系列動態圖像連接成影片提供光學系統隨時間變化的過程。採用具有獨特性能和無與倫比多功能的ZYGO DynaFiz™ 干涉儀將使你的量測得到最大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。 聯繫ZYGO Taiwan
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