大光圈鐳射干涉儀

ZYGO大光圈鐳射干涉儀系統是雙通道測量系統，小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度測量模式，如相位調變、波長調變、動態測量等。大光圈鐳射干涉儀從常規的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸、32英寸和36英寸。大光圈鐳射干涉儀包括

• 鐳射干涉儀主機(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調製主機)

• MUX分光器（光束轉換器

• 擴束器（12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸可選

• 機械相位測量裝置用於12英寸和18英寸、24英寸及以上)

• 參考光束-透射平板和參考平板是光學系統必需的附件

• 調整架-用於調整參考光束和測試光束的位置

Large Aperture Interferometer System

大光圈鐳射干涉儀系統元件可以與干涉儀主機分開購買，如果您需要系統測量和配置方面的具體資訊請聯繫我們。

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