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Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


典型干涉儀配置

本頁主要介紹常用的干涉儀測量配置,更多詳細的內容 的獲得可以下載“干涉儀常用配置指南”。

平面測量
Graphic - GPI™ Setup for Plano Optic Measurement 平面測量裝置用於測量反射平面鏡、棱鏡和窗片。被測物體必 須放在專用夾具上以便於對被測面進行傾斜調整,比如用 ZYGO 的兩維調整架和自中心夾具放置和調整樣品。


透射波陣面測量
Graphic - GPI™ Setup for Transmitted Wavefront Measurement 此裝置用於測量透射平面波前畸變。 常用於對窗片、濾光片 和棱鏡的測量。另外,也可用於檢測玻璃、透明材料的均勻 性。測量光束通過被測樣品,只需要將樣品放在與光軸近似垂 直的位置,不需要特殊的調整。


球面測量–凸面
Graphic - GPI™ Setup for Convex Surface Measurement 此裝置用於凸面樣品的面形測量。選擇合適的球面標準鏡必須 滿足如下條件:首先,被測凸球面的曲率半徑必需小於球面標 準鏡的後焦距,其次,被測樣品的曲率半徑與通光孔徑的比值 (R/number)必須小於等於球面標準鏡的 F/number。三維調 整架用來調節被測樣品。


球面測量–凹面
Graphic - GPI™ Setup for Concave Surface Measurement 球面標準鏡用於將干涉儀輸出 平面波變為球面波,用於對球 面樣品和棱鏡的測量。測量時,被測樣品凹面的曲面中心必須 與球面標準鏡的焦點精確重合,使用 GPI™ 的快速獲得條紋系 統可以只用幾秒的時間調整好樣品的位置。三維 樣品調整架 用於調節被測樣品。


棱鏡/光學系統品質測量
Graphic - GPI™ Setup for Lens/System Measurement 通過檢測透射波前畸變可以檢測棱鏡和光學系統品質,對於聚 焦於無限遠的棱靜系統,測量時與干涉儀位置如圖所示,需用 一個高精度的凸球面或者凹球面將光束反射回干涉儀,通過轉 動被測棱鏡光軸,波束角的變化可以被檢測。


棱鏡/光學系統品質測量–另–種方法
Graphic - GPI™ Setup for Lens/System Measurement 對於無限共軛的棱鏡或者光學系統,尤其對於大於干涉儀測量 光束直徑的棱 鏡系統,可以用這種方法檢測,如圖所示。此方 法對於樣品的調整要求更高,可能會由於未準確校準而引入誤 差。


Photo - Setups Guide Handbook ZYGO 典型干涉儀配置指南
16 頁的配置嚮導用簡潔的圖示和說明介紹了幾種 ZYGO 干涉儀的最常用的配置, 填寫簡單的申請表格就可以馬上 下載 免費的 PDF 格式的配置指南。


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