典型干涉儀配置

平面測量
平面測量裝置用於測量反射平面鏡、棱鏡和窗片。被測物體必 須放在專用夾具上以便於對被測面進行傾斜調整,比如用 ZYGO 的兩維調整架和自中心夾具放置和調整樣品。

透射波陣面測量
此裝置用於測量透射平面波前畸變。 常用於對窗片、濾光片 和棱鏡的測量。另外,也可用於檢測玻璃、透明材料的均勻 性。測量光束通過被測樣品,只需要將樣品放在與光軸近似垂 直的位置,不需要特殊的調整。

球面測量–凸面
此裝置用於凸面樣品的面形測量。選擇合適的球面標準鏡必須 滿足如下條件:首先,被測凸球面的曲率半徑必需小於球面標 準鏡的後焦距,其次,被測樣品的曲率半徑與通光孔徑的比值 (R/number)必須小於等於球面標準鏡的 F/number。三維調 整架用來調節被測樣品。

球面測量–凹面
球面標準鏡用於將干涉儀輸出 平面波變為球面波,用於對球 面樣品和棱鏡的測量。測量時,被測樣品凹面的曲面中心必須 與球面標準鏡的焦點精確重合,使用 GPI™ 的快速獲得條紋系 統可以只用幾秒的時間調整好樣品的位置。三維 樣品調整架 用於調節被測樣品。

棱鏡/光學系統品質測量
通過檢測透射波前畸變可以檢測棱鏡和光學系統品質,對於聚 焦於無限遠的棱靜系統,測量時與干涉儀位置如圖所示,需用 一個高精度的凸球面或者凹球面將光束反射回干涉儀,通過轉 動被測棱鏡光軸,波束角的變化可以被檢測。

棱鏡/光學系統品質測量–另–種方法
對於無限共軛的棱鏡或者光學系統,尤其對於大於干涉儀測量 光束直徑的棱 鏡系統,可以用這種方法檢測,如圖所示。此方 法對於樣品的調整要求更高,可能會由於未準確校準而引入誤 差。

ZYGO 典型干涉儀配置指南
16 頁的配置嚮導用簡潔的圖示和說明介紹了幾種 ZYGO 干涉儀的最常用的配置, 填寫簡單的申請表格就可以馬上 下載 免費的 PDF 格式的配置指南。

名字 *		姓氏 *
電話號碼		電子郵件地址 *
公司/組織 *		職位 *
郵寄地址		郵寄地址
州或省		城市
---選擇--- 彰化 嘉義 新竹 花蓮 宜蘭 高雄 基隆 苗栗 南投 澎湖 屏東 台中 台南 台北 台東 桃園 雲林
國家或地區
---選擇--- China Indonesia Malaysia Singapore Taiwan (R.O.C.) Thailand
勾選此視框表示您同意ZYGO將來與您聯繫. **
請在視窗中輸入您的諮詢:
* 必填字段

注意:
如果您在提交此表單時遇到任何問題，請聯繫：

** 您可以隨時使用本網站任何頁面底部的“取消訂閱”鍵取消.