Description
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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造

VeriFire™ 系列 VeriFire™ XPZ VeriFire™ QPZ VeriFire™ ATZ VeriFire™ MST VeriFire™ Asphere


Verifire™ Asphere™ 非球面檢測 - ZYGO 頂尖技術的完美結合

Verifire Asphere Interferometer System

3D MetroPro® Plot
快速,非接觸,高精度的非球面3D 測量鐳射干涉儀 Verifire™ Asphere – 運用專利的非接觸干涉技術,在生產和品質控制中,對非球面進行高精度、定量、三維的表面形貌測量。 基於ZYGO 的兩個核心技術和專利的多域測量方式,開發出的系統可以對非球面進行高精度的測量。系統中多個方向軸均為電動控制,能夠實現自動調整、自動搜集資料和自動進行資料分析,最後得到快速、高精度、定量的非球面面形測量。

Verifire™ Asphere™系統是由Verifire™ AT 斐索型(Fizeau)鐳射干涉儀和ZMI510 位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個軸跟蹤被測件沿著光軸方向的運動,並且每2.5nm 掃描一次,Verifire™ AT 斐索型鐳射干涉儀上的高解析度1K• 1K CCD 使得每次掃描得到高於70 萬個資料點。Verifire™ AT 主機如果配備Ring of Fire™擴展光源,則表現出更高精度的干涉測量能力。根據被測件的直徑大小,Verifire™ Asphere™系統可以配置4 英寸或6 英寸的Verifire™ AT 索菲型鐳射干涉儀主機。

Verifire™ Asphere系統在ZYGO 工業級Metropro 軟體平臺上運行。除了具有測量非球面的能力,還能作為平面、非球面和曲率半徑測量的立體終端。Verifire™ Asphere™系統上先進的軟體功能對五軸電動樣品台的控制能夠對非球面進行快速方便的調整。被測件的自動調整和資料自動採集和分析等功能使Verifire™ Asphere 系統成為使用者理想的產品測量解決方案。

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