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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造

VeriFire™ 系列 VeriFire™ XPZ VeriFire™ QPZ VeriFire™ ATZ VeriFire™ MST VeriFire™ Asphere


Verifire™ ATZ Coherent Artifact Suppression

Verifire™ ATZ Interferometer System
Ring of Fire™點光源是Verifire™ AT鐳射干涉儀獲取清潔圖像的基礎,傳統的鐳射干涉儀用的是相干點光源,在測試腔中形成相干光。但是,點光源在光路中遇到細小顆粒時同時也會產生寄生的干涉條紋(牛眼環)。獨特的Ring of Fire™光源系統是只對光學腔產生干涉,而將干涉腔外的細小顆粒產生的干涉條紋遏制,整個干涉儀的性能得到增強,所測量的性能得到增強,所測量的結果更令人信服。

高精度的光學元件和光學系統需要高性能的測量技術和方法,不僅需要具備高速操作簡單和長期穩定的檢測設備和方法,同時更需要更高精度產品檢測的需求。ZYGO Verifire™鐳射干涉儀做獨創的Ring of Fire™光源技術,消除了長期困擾的“牛眼環”所帶來的測量上的影響,將測量精度提高到一個新的臺階,同時配備ZYGO自主開發的Metropro軟體,以及與傳統鐳射干涉儀互配的各種附件,真正使Verifire™鐳射干涉儀在高速、簡易和穩定基礎上達到新的高度。可以說,ZYGO Verifire™鐳射干涉儀不僅是新一代的鐳射干涉儀,更是干涉測量技術的革命。


Point Source
Coherent artifact suppression using a point source, and the Ring of Fire, in the Verifire™ ATZ interferometer.
Dust was applied to the Verifire™ optics to dramatize the Ring of Fire's superior performance.

Ring of Fire™

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