Description
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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造

VeriFire™ 系列 VeriFire™ XPZ VeriFire™ QPZ VeriFire™ ATZ VeriFire™ MST VeriFire™ Asphere


Verifire™ MST 多表面測量

Verifire™ MST Interferometer System
Surface Maps
Verifire™ MST鐳射干涉儀提供了一個前所未有的嶄新的測量方式和能力,傳統的鐳射干涉儀應用是測量兩個面的波前變化,也就是說測量一個 由兩個面所形成的腔。但是,如果所測量的是一個沒有經過鍍膜的平行平板,則就會產生兩個疊加的干涉條紋(三個面的腔所形成),這樣就會干擾標準的位相干涉測量分析。現在,ZYGO的Verifire™ MST鐳射干涉儀解決了這一個問題,通過波長調製技術和ZYGO新的傅立葉轉換方法,可以進行三個甚至四個平行面的測量,不僅可以顯示所有的面,並且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。

三平面干涉測量

鐳射干涉儀可以在你的測量中,只要一次資料擷取,就可以得到平行平板前表面和後表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學厚度:

• 前表面形貌圖

• 光學厚度變化

• 物理厚度變化和後表面形變

四表面干涉測量

這一技術能夠通過兩次資料擷取得到下列結果:

• 前表面和後表面的形貌圖

• 物理厚度變化

• 光學厚度變化

• 折射率變化
- 非線性材料均勻性
- 線性材料均勻性

多表面樣品測量快速、簡單和品質提升

同時測量表面形變和光學厚度變化

平行平板兩側測量就可以得到其均勻性:

• 不需要塗油就可以進行安全、快速測量

• 兩次測量不需要進行調整

新型的線性材料均勻性測量

快速測量,只需要幾分鐘而不是幾個小時

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