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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造

VeriFire™ 系列 VeriFire™ XPZ VeriFire™ QPZ VeriFire™ ATZ VeriFire™ MST VeriFire™ Asphere


Verifire™ XPZ

Verifire™ XPZ Interferometer System
ZYGO Verifire™ XPZ型鐳射干涉儀可以為光學元器件的平面、球面面形和透射波陣面提供快速、高精度干涉測量,配合功能強大的MetroPro®軟體可以獲得高重複性和高精度的測量結果。

Verifire™ XPZ運用精確相位調變技術對物件的細微面形進行精密測量,具有很高的精確度和重複性。測量時對干涉腔長進行精確調製,同時640 x 480 圖元CCD進行資料擷取多個條紋圖像,由MetroPro®軟體分析計算。

可以測量玻璃或者塑膠光學元件,如:平面、透鏡、棱鏡;還有精密合金件、電腦硬碟磁片、軸承和封接面;拋光件、陶瓷、接觸鏡等。在過去的三十多年,我們的干涉儀是世界各地量測設備的首選。

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