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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


先進技術

今日,只有ZYGO,才能提供如此功能齊全、高精度的鐳射以及白光干涉測量技術和產品;只有ZYGO, 才能引領鐳射與白光干涉儀測量的發展;只有ZYGO,才能應對光學檢測中一個又一個新的挑戰!

Zygo從事於研製精密測量儀器,自動化技術和改進各種工業領域的精密零組件,其應用領域包括了半導 體工業中的設備和零件,光學產品,資料儲存,汽車工業,生物科技等生產,研究和開發領域。Zygo公 司產品的一些主要應用包括各種光學部件的檢測,半導體微影製程之光罩的平坦度分析,精密元件的表 的測量,硬碟驅動器中磁片和讀寫頭特性的測量,半導體階梯高度的精密測量和碟片驅動器生產過程的 自動化處理。

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