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鐳射干涉儀 DynaFiz® Verifire™系列 大光圈鐳射干涉儀 多種波長可供選擇 干涉儀附件 產品升級套件 典型干涉儀配置 MetroPro®軟體介紹 抗振型鐳射干涉儀

3D表面輪廓量測儀 ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000系列 Nexview™ Nomad™ 3D 表面輪廓儀主要應用

Stage Position (OEM)
高精度雷射定位載台

Optical Systems Division
特殊精密光學製造


產品介紹

鐳射干涉儀

ZYGO非接觸式菲佐型(Fizeau)鐳射干涉儀,是精密光學元件的表面面形和透射波陣面的檢測的工業標準。 結合功能強大的MetroPro®專利軟體,ZYGO鐳射干涉儀系統操作簡單,互動圖形介面可在螢幕上同時提 供儀器控制,平面面型類比,測量資料的統計分析等。

3D表面輪廓量測儀

NewView™系列表面輪廓以其極高的精度和準確度定性且定量地反映出樣品的表面粗糙度、階梯高度、關鍵 部位的尺寸以及樣品的形貌。測量過程精確、高速、非接觸、且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態下縱 向測量範圍可以從小於1nm至20000µm,能夠測量21.59Х21.85mm範圍內的表面輪貌,使用拼接技術可 以測量更大範圍,縱向解析度小於0.1nm。

高精度雷射定位載台

ZYGO is the technology and application support leader in heterodyne displacement interferometry, offering complete solutions and support for your OEM metrology application. ZYGO's technologies and OEM products have been field proven over many years of use in leading-edge production facilities.

特殊機密光學製造

Combining the Electro-Optics Group and the Optical Components Group, ZYGO's Optics business segment specializes in producing complex electro-optical systems and high-precision optical components for the Medical/Life Sciences, Defense & Aerospace, Semiconductor, and Industrial OEM markets.

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