Nexview™ 3D 光學表面輪廓儀

光學表面輪廓儀擅長測量各種表面的微觀形貌,從超光滑到非常粗糙的表面,都能準確計量。無論視場範圍多大均可以達到 sub-nanometer 的測量精度。可以測量平面度、粗糙度、大的臺階、薄膜和陡坡等。測試範圍從小於 1nm 到 20000μm。

SiC 鏡面:可以很清晰的看到結晶特徵和拋光痕跡

Mx 軟體介面 (點擊圖像放大)

120 度的錐角

單點金剛石切削麵

自動 200mm 整合式測量平台

• 超強的測試範圍
可以測試所有類型的表面,從粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡、和大落差的臺階。

• 計量能力體現
優越的精度和重複性能夠滿足最嚴苛的測試需求

• 抗震技術
幾乎可以在任何環境下都能正常工作

• ISO 25178 表面測量國際標準

• 全新版面的工作流程軟體
功能更強大,操作更簡便易學

• 流線型設計
無需手動操作,全自動化控制

你不再需要根據你要測量的表面類型來選擇一台輪廓儀。NexView 輪廓儀幾乎可以測量任何表面的形貌,從 Sub-angstrom 的超光滑表面,到高達 85 度的大角度機械件,全部採用 3D、非接觸式測量,克服了其它測量技術(探針式、共聚焦、聚焦掃描)的缺點,提供了最好的計量檢測方案

NexView 輪廓儀採用全新的 Mx™軟體強化了整個系統的控制和分析,包括豐富的互動式 3D 圖像,定量的形貌資訊,直觀的測量導航,以及嵌入的包含資料統計、控制圖表和 Pass/Fail 限制的 SPC。

• 互動式 3D 圖 – 變倍,全景,旋轉,以及即時的更新結果。

• 靈活的分析工具 – 包含大量的定量結果、資料視圖、濾波。

• 高級的分析工具 – 提供了用於資料調查、操作和測量對比的自由設置區域。

• 直觀的使用者介面 – 流程化的設計使軟體簡單易學,便於操作。

• 浮動的工具條 – 可自由設定,滿足您的工作流程。

針對特殊測試的需求,軟體有專門的應用模組,比如透明薄膜的測量,以及 2D 視覺化分析等,對於有需要的使用者,這些功能非常有幫助。

NexView 輪廓儀是無需手動操作的,全部自動電動控制,因此能夠利用軟體進行多次序列化的自動測量,可以對裝配好的樣品進行程式化的自動測量,及對大樣品的快速拼接。

Nexview 系列輪廓儀具有清晰的視野,開放的工作區域,使得測量安裝和更換樣品變得簡單而快速。它的全新、自動化,集成的 200mm 測量台是整潔、有效的工業設計的縮影。配備可正負 4 度傾斜的樣品台, 使測量時的調校變得簡單,即使是對於毫無特徵的表面也可以很容易快速的測量。

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